龙企风采录 | 臻宝科技“两架马车”推动企业升级

重庆臻宝科技股份有限公司成立于2016年，是一家专业从事半导体设备核心零部件开发设计、生产及销售为一体的高新技术企业，在高纯硅、石英、陶瓷等设备核心零部件制造等方面，处于国内领先地位。该公司拥有较强的技术研发实力，拥有专利45项，获评国家级专精特新“小巨人”企业、国家级知识产权优势企业等荣誉资质。

▲重庆臻宝科技生产车间内，工人们正在进行生产。 受访单位供图

产品品类丰富 横跨两个行业

记者了解到，作为一家专业从事半导体设备核心零部件生产的企业，重庆臻宝科技股份有限公司产品横跨集成电路和显示面板两个行业，产品涉及品类多，主要包括半导体部件产品、等离子熔射产品、化学处理产品、精密清洗产品四类。

其中，半导体零部件产品方面，该公司生产的半导体刻蚀用硅零部件、石英零部件、陶瓷产品及内衬精密再生，广泛运用于集成电路刻蚀设备、CVD/PVD设备等。目前，部分产品已经销售到中国台湾、日本、新加坡及马来西亚等国家。

等离子熔射产品方面，面板显示领域的产线建设是参与市场竞争的重要方式。目前，臻宝科技可对应全球最大的11代线所有产品。此外，臻宝科技针对表面刻蚀、精密孔加工、等离子熔射、阳极氧化及最终清洗工艺均有独到技术。

坚持高端制造 推进智能制造

今年，该公司三期厂房项目开工建设，预计在7月投产。臻宝公司相关负责人表示，三期厂房项目投资3.8亿元，主打硅材料和碳化硅材料研发、制造及销售，主要建设内容为碳化硅材料研发线、大尺寸单晶硅研发线、CVD涂层技术研发线及高纯度陶瓷粉研发线，实现部分半导体原材料国产化，将助力中国半导体事业高质量发展。而臻宝公司也将由过去单一的半导体核心零部件制造转型为“零部件+半导体材料”，开启“两架马车”并驾齐驱的模式。

去年，臻宝公司实现销售收入40400.23万元，研发投入2311.43万元。臻宝公司相关负责人介绍，公司坚持“高端制造”，从日本、韩国引进国际一流的设备和先进制造技术；大力推进“智能制造”，陆续引进ERP与MES管理相结合的智能管理系统，拥有多家数字化车间，产品广泛供应国内半导体行业龙头企业、世界知名企业。同时，该公司研发生产的刻蚀机用石英上电极产品，突破了上电极在精密机加、破损层研磨和低纳米线宽微颗粒刻蚀的关键制造技术，打破了该领域长期被国外厂商垄断的局面，填补了国内空白，实现了高可靠、低成本国产替代；三期项目（固态碳化硅材料），在国内率先规模化应用HT-CVD制备工艺，成品的纯度极高，各项性能指标均高于同类产品，产品应用于光刻机、刻蚀机等半导体尖端设备。

记者 廖婉廷